[1]
Анненков, А.Н., Белоусова, О.В. и Шиянов, А.И. 2023. РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА. Вести высших учебных заведений Черноземья. 17, 3 (65) (июл. 2023), 56–66.