Анненков, А. Н., Белоусова, О. В., & Шиянов, А. И. (2023). РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА. Вести высших учебных заведений Черноземья, 17(3 (65), 56–66. извлечено от https://vestivuzov.ru/index.php/journal/article/view/71