АННЕНКОВ, А. Н.; БЕЛОУСОВА, О. В.; ШИЯНОВ, А. И. РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА. Вести высших учебных заведений Черноземья, [S. l.], v. 17, n. 3 (65), p. 56–66, 2023. Disponível em: https://vestivuzov.ru/index.php/journal/article/view/71. Acesso em: 8 июн. 2026.