[1]
А. Н. Анненков, О. В. Белоусова, и А. И. Шиянов, «РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА», Вести ВУЗов, т. 17, вып. 3 (65), сс. 56–66, июл. 2023.