Анненков АН, Белоусова ОВ, Шиянов АИ. РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА. Вести ВУЗов [Интернет]. 4 июль 2023 г. [цитируется по 8 июнь 2026 г.];17(3 (65):56-6. доступно на: https://vestivuzov.ru/index.php/journal/article/view/71