РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА

Андрей Николаевич Анненков; Олеся Владимировна Белоусова; Анатолий Иванович Шиянов

Авторы

Андрей Николаевич Анненков Международный институт компьютерных технологий, Воронеж (Россия) https://orcid.org/0000-0003-1914-8075
Олеся Владимировна Белоусова Международный институт компьютерных технологий, Воронеж (Россия)
Анатолий Иванович Шиянов Международный институт компьютерных технологий, Воронеж (Россия)

Ключевые слова:

автоматическая установка нанесения фоторезиста, система управления, функциональные модули, транспортный робот-манипулятор, центрифуга

Аннотация

Технологии фотолитографии широко распространились для формирования топологического рельефа на поверхности подложек из различных материалов (кремний, пьезокерамика, кварц, оптическое стекло и т.д.) для производства элементной базы в микроэлектронике, радиоэлектронике, оптике, микроэлектромеханических системах, то есть технологии фотолитографии, и оборудование, на которых они реализованы, в значительной степени определяет технологический и технический прогресс в критических производствах. Работа связана с созданием высокотехнологичных модулей нанесения фоторезиста, транспортировки подложек и их термообработки, а также алгоритмов их работы и пакета программного обеспечения системы управления автоматизированной технологической установкой нанесения фоторезиста. Аппаратная часть установки с точки зрения системы управления представляет собой ряд устройств, каждое из которых обладает набором входных и выходных сигналов определенного типа. Состав системы управления показанн в виде трех иерархических уровней.

Биографии авторов

Андрей Николаевич Анненков, Международный институт компьютерных технологий, Воронеж (Россия)

Доктор технических наук, доцент, проректор по научной работе

Олеся Владимировна Белоусова, Международный институт компьютерных технологий, Воронеж (Россия)

Старший преподаватель кафедры электроэнергетики

Анатолий Иванович Шиянов, Международный институт компьютерных технологий, Воронеж (Россия)

Доктор технических наук, профессор, ректор

Библиографические ссылки

Боднарь Д. Ультратонкие пластины как тенденция развития полупроводниковых технологий // Компоненты и технологии. 2012. № 11. С. 116–122. / Bodnar D. Ultra-thin plates as a trend in the development of semiconductor technologies // Components and technologies. 2012. № 11. Р. 116-122.

Cooper K., Cook K., Whitney B. et al. Lithographic challenges and solutions for 3D interconnect // Proc. IWLPC, 2008. P. 74-82.

Yin W., Ye Z., Ma W., Chen Y., Hu X. Spray coater technology in HgCdTe third-generation infrared focal plane arrays // Proc. SPIE 8193, International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging 2011. September, 2011.

Photolithography. Theory and Application of Photoresists, Etchants and Solvents. (2012)

Microfabrication technologies used for creating smart devices for industrial applications, José M. Quero, ... Carmen Aracil, in Smart Sensors and MEMs (Second Edition), 2018. – URL: Photoresist - an overview | ScienceDirect Topics (accessed: 02.12.2021).

Fundamentals and Applications of Plasma Cleaning. Dinesh P.R. Thanu, ... Manish Keswani, in Developments in Surface Contamination and Cleaning: Applications of Cleaning Techniques, 2019. – URL: https://www.sciencedirect.com/book/9780128155776/developments-in-surface (accessed: 02.12.2021).

Установка нанесения фоторезиста автоматическая УНФ-150А. Конструкторское бюро технологических машин (КБТМ). – URL: http://vkbtm.ru/catalog/cpf150a (дата обращения: 02.12.2021). / Installation of photoresist application automatic UNF-150A. Design Bureau of Process Machines (KBTM). – URL: http://vkbtm.ru/catalog/cpf150a (accessed: 02.12.2021).

АНОО ВО «Международный институт компьютерных технологий». – URL: http://iict.ru/наука (дата обращения: 02.12.2021). / ANOO VO "International Institute of Computer Technology". – URL: http://iict.ru/наука (accessed: 02.12.2021).

ОАО «Лианозовский электромеханический завод». – URL: https://lemz.ru (дата обращения: 02.12.2021). / Lianozovsky Electromechanical Plant OJSC. – URL: https://lemz.ru (accessed: 02.12.2021).

ФГБУН Ордена Трудового Красного Знамени Институт химии силикатов им. И.В.Гребенщикова РАН (ИХС РАН). – URL: https://www.iscras.ru (дата обращения: 02.12.2021). / FSBUN of the Order of the Red Banner of Labor Institute of Silicate Chemistry named after I.V. Grenshchikov RAS (IHS RAS). – URL: https://www.iscras.ru (accessed: 02.12.2021).

АО «НПО Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова». – URL: http://goi.ru (дата обращения: 02.12.2021). / JSC NPO S. I. Vavilov State Optical Institute. – URL: http://goi.ru (accessed: 02.12.2021).

АО «ТАГАТ» им. С.И. Лившица. – URL: https://tagat.ru (Дата обращения: 02.12.2021). / TAGAT JSC named after S.I. Livshitsa. – URL: https://tagat.ru (accessed: 02.12.2021).

Visual C. – URL: https://visualstudio.microsoft.com/ru/vs/support/ (дата обращения: 02.12.2021). / Visual C. – URL: https://visualstudio.microsoft.com/ru/vs/support/ (accessed: 02.12.2021).

Delphi. – URL: https://thedelphi.ru (дата обращения: 02.12.2021). / Delphi. – URL: https://thedelphi.ru (accessed: 02.12.2021).

STEP7. – URL: https://www.elinc.ru/Downloads/Siemens/step7_in_manual_ru.pdf (дата обращения: 02.12.2021). / STEP7. – URL: https://www.elinc.ru/Downloads/Siemens/step7_in_manual_ru.pdf (accessed: 02.12.2021).

ОВЕН фирма. Каталог. Регуляторы. – URL: https://owen.ru/product/trm101 (дата обращения: 02.12.2021). / OWEN company. Directory. Regulators. – URL: https://owen.ru/product/trm101 (accessed: 02.12.2021)